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金屬制造

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解決方案

金屬制造

方案描述

濺射靶材的制備技術(shù)方法按生產(chǎn)工藝可分為熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類。在靶材制備過程中，除嚴(yán)格控制材料純度、致密度、晶粒度以及結(jié)晶取向之外，對熱處理工藝條件、后續(xù)成型加工過程也需加以嚴(yán)格控制，以保證靶材的質(zhì)量。

　　熔融鑄造法是將一定成分配比的合金原料熔煉, 再將合金熔液澆注于模具中, 形成鑄錠, 最后經(jīng)機械加工制成靶材。鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等。其優(yōu)點是靶材雜質(zhì)含量(特別是氣體雜質(zhì)含量) 低, 密度高, 可大型化等;缺點是需要后續(xù)加工和熱處理工藝降低其孔隙率，以及對熔點和密度相差較大的多種金屬合金靶材、難容金屬靶材、無機非金屬靶材、復(fù)合金屬靶材，普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材。

　　粉末冶金法是將一定成分配比的合金原料熔煉, 澆注成鑄錠后再粉碎, 將粉碎形成的粉末經(jīng)等靜壓成形, 再高溫?zé)Y(jié), 最終形成靶材。常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。粉末冶金法的優(yōu)點是靶材成分均勻，節(jié)約原材料，生產(chǎn)效率高等;缺點是密度低, 雜質(zhì)含量高等。粉末冶金法制備靶材時, 其關(guān)鍵在于:(1)選擇高純、超細(xì)粉末作為原料;(2)選擇能實現(xiàn)快速致密化的成形燒結(jié)技術(shù), 以保證靶材的低孔隙率, 并控制晶粒度;(3) 制備過程嚴(yán)格控制雜質(zhì)元素的引入。

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